IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1

IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1

OPTM-A1,Opt-scope,Auto SE,VS1800,Smartproof 5

顯微分光膜厚儀OPTM系列特征:

薄膜厚度測量所需的功能集成在測量頭中。

使用顯微光譜法進行高精度絕對反射率測量。

每1秒以內的高速測量。

實現顯微鏡下寬測量波長范圍的光學系統(tǒng)。

區(qū)域傳感器安全機制。

一個簡單的分析向導，即使是初次使用的用戶也可以進行光學常數分析。

配備可自定義測量順序的宏功能。

支持各種自定義。

Opt-scope是一種白光干涉顯微鏡(非接觸式三維表面粗糙度/形狀測量儀),能夠在所有鏡頭放大倍率下以0.01nm的高分辨率進行高速測量。從窄范圍內的精細粗糙度測量到寬范圍內的起伏形狀測量,可以在廣泛的測量條件下進行亞納米級表面紋理測量。帶有可選電動XY載物臺的拼接功能可實現更寬范圍的測量。

自動薄膜測量裝置Auto SE特征:

非接觸式無損測量,不會損壞樣品；

可在1nm至15μm范圍內評估膜厚；

還可以評估材料的光學常數(折射率 n、消光系數k)；

也可以評估單層和多層結構；

支持小至100μm見方的微小區(qū)域的測量；

標配電動XYZ載物臺,支持面內分布測量；

實現樣品表面狀況和測量位置的可視化。

線掃描膜厚測試儀TI系列特征:

采用線掃描方式實現無"遺漏"的全面薄膜檢測

膜厚測量范圍:0.7～300μm；

10ms獲取500mm寬度1mm間隔數據；

作為薄膜厚度測量專業(yè)制造商的全面支持；

可進行高速高精度測量；

使用抗抖動的光學系統(tǒng)；

可處理寬樣品(可測量TD方向最長10m)；

硬件和軟件的原創(chuàng)設計。

VS1800納米三維光學干涉測量系統(tǒng)利用光干涉現象測量微小的表面輪廓，實現高性能薄膜、半導體、汽車零部件和顯示器行業(yè)所需的高精度測量。此外，還可以非破壞性地測量多層薄膜的層結構和層內的異物。

工業(yè)廣角共聚焦顯微鏡Smartproof 5通過采用圓盤共聚焦技術，與傳統(tǒng)激光顯微鏡相比，它在保持高分辨率的同時實現了壓倒性的高速成像。高清4兆像素攝像頭以50fps的高速平面內掃描捕獲2048x2048像素。